반도체 (10) 썸네일형 리스트형 반도체_이온 주입(도핑) 우선 이온주입(Ion implantation)공정은 왜 하는지를 아는것부터 시작해야겠죠? 반도체에 대해 공부하시고 이 포스팅을 보고 계신분들이라면 도핑에 대해선 다들 알고 계실거라고 생각해서 도핑에 대해선 따로 자세하게 언급을 하지 않을게요 pure한 반도체는 Si으로 되어있어서 전기적 성질을 띄지 않기 때문에 반도체가 전기적 성질을 가질 수 있도록 불순물(dopant)를 넣어서 전도성을 갖게 해야합니다. 이러한 불순물을 미세한 가스입자로 만들어서 원하는 깊이만큼 웨이퍼 전면에 균일하게 넣어주는것을 이온주입공정 이라고 합니다. Flow in Doping process 초기 - Thermal diffusion 출처 : https://angstromengineering.com/tech/.. 이전 1 2 3 4 ··· 10 다음
