SiO2 (1) 썸네일형 리스트형 반도체_ Oxide 공정(MOSFET) 안녕하세요 드디어 이번 포스팅에서 산화공정에 대한 포스팅을 끝마칠 것 같습니다. 이번 포스팅은 Oxide qulity에 영향을 주는 charges와 oxide 제조장비 및 두께측정을 하는 방법에 대해 알아보겠습니다. MOSFET 소자에서 gate oxide는 소자의 품질에 큰 영향을 미칩니다. gate oxdie가 형성되며 생기는 다양한 charges로 인해 이러한 carrier에 전기적 영향을 줘 mobility에 영향을 주기 때문인데요. 이러한 charge들에 대해 알아보겠습니다. 출처 : https://www.eeeguide.com/oxidation-in-ic-fabrication/ 1) Interface trapped charges Si기판에 SiO2를 증착시키면 Si표면에서 Si .. 이전 1 다음
