본문 바로가기

반도체

반도체_상태 밀도 함수(페르미 디락)

오늘은 carrier의 concentration에 대해 알아보도록 하겠습니다

캐리어는 전기를 흐르게 하는 운반자이기 때문에 전자뿐만아니라 홀도 포함된다는 점! 알아주시고요

우리는 왜 이런 캐리어의 농도에 대해 알아야할까요??

간단하게 반도체의 전기적 성질을 계산하고 전자소자의 동작을 분석하기 위해서 필요하기 때문입니다

전자제품에 들어가는 반도체의 전기적 성질을 계산한다니.. 얼마나 중요한지 감이 오시나요?

자 이제 이러한 캐리어농도에 대해 알아볼게요

캐리어농도를 알기 위해서 우리는 페르미 디락 분포(Fermi dirac distribution)와 DOS라고 불리는 상태밀도함수(Density of state)에 대해 알아야해요.

* 페르미 디락 분포(f(E)) : 어떤 특정 energy state에서 전자가 빈 energy state를 점유할 확률

* DOS(g(E)) : 단위부피당 , 단위에너지당 존재할 수 있는 energy state의 갯수

$페르미디락\ 분포f\left(E\right)\ 를식으로나타내면\ \ \ \ \ f\left(E\right)=\frac{1}{1+\exp \left[\left(\frac{E-\combi{E}_f}{kT}\right)\right]}$ f(E)      f(E)=11+exp[(EEfkT)]

로 정리할 수 있고 만약 E-Ef >> kT 라면 Boltzmann approximation에 의해 단순화되는데 이를

$f\left(E\right)=\exp \left(-\frac{E-\combi{E}_F}{kT}\right)\ \ \ \ \ \ 로나타낼\ 수\ 있습니다$f(E)=exp(EEFkT)        

* EF 는 fermi level 로 전자의 존재 확률이 50% 인 에너지 level 을 의미합니다

* 300k 에서 kT = 0.0259eV 의 값을 갖습니다.

위 f(E) 식으로 원하는 energy state에 전자의 존재확률을 구할 수 있기 때문에 잘 알아두시길 바랍니다.

아! 그리고 만약 정공을 구하고 싶다면 1-f(E) 를 해주면 됩니다

 

그래서 이것들로 농도를 어떻게 구하는건가 싶을텐데요!

간단하게 아파트로 예를 들어볼게요.

아파트가 조금 이상하죠..? ㅎ 제 상상속 아파트입니다^^;

아무튼 이렇게 층마다 들어갈 수 있는 집의 갯수가 다른 아파트가 있다고 가정할게요

이 아파트를 위 개념과 접목시켜보면 DOS는 각 층마다 집이 몇 개 있는지를 나타내고 f(E)는 층마다 사람이 거주할 확률을 나타냅니다. 그렇다면 우리는 이 아파트에 사는 총 주민의 수를 계산해볼게요

'특정층에 집의 수 x 특정층에 사람이 거주할 확률 = 특정층에 거주하는 사람의 수' 를 구할 수 있습니다.

이를 energy state 와 electron 으로 나타내면 'g(E) x f(E) = 특정 에너지에 존재하는 전자의 수' 를 구할 수 있습니다. ( 참고로 여기서 전자는 자유전자로 conduction band 내에 전자를 의미합니다 )

자 이제 본질로 들어가서 우리는 어떤 물질내의 총 carrier의 수를 구하려고 했죠?

한 아파트의 총 거주자수를 구하려면 각 층의 집의 수와 각 층마다 사람들이 거주할 확률의 곱을 적분하면 되는것처럼 총 캐리어수(여기선 전자)를 구하려면 g(E) x f(E) 를 적분하면 됩니다.

$즉\ \ \ \combi{n}_o=\int _{Ec}^{\ \infty }f\left(E\right)g\left(E\right)dE\ \ \ 와같이\ 농도를\ 구할\ 수\ 있습니다$   no= Ecf(E)g(E)dE       

그리고 위의 적분결과는 전도대역에 분포되어 있는 모든 전자상태를 전도대역 단연 Ec 에 위치한 유효상태밀도 Nc 로 나타내었을 대 얻어지는 것과 같습니다. 따라서 전도대역의 전자농도는 간단히 Ec 에서의 유효상태밀도에 Ec 에서 점유될 확률을 곱한 것과 같습니다. 즉 no = Ncf(Ec) 입니다.

또한 f(Ec) 는 볼츠만분포에 의해 간단화 된 수식을 위에 대입하면 최종적으로 우리는

$\combi{n}_o\ =\ \combi{N}_c\exp \left(-\frac{\combi{E}_c-\combi{E}_F}{kT}\right)\ \ \ \ \ 라는\ 식을\ 구할\ 수\ 있습니다$no = Ncexp(EcEFkT)         

마찬가지로 hole(정공)의 경우에는 가전자대역에서 유효상태밀도 Nv 에 Ev 에서 정공에 의해 점유될 확률을 곱한것과 같기 때문에

$\combi{P}_o\ =\ \combi{N}_v\exp \left(-\frac{\combi{E}_F-\combi{E}_v}{kT}\right)\ \ \ 로\ 표현합니다$Po = Nvexp(EFEvkT)    

유효상태밀도 식은 참고만 하셔도 괜찮을 것 같습니다.

 

그리고 열적 평형에서의 에너지 대역도, 상태밀도, 페르미-디랙 분포 및 캐리어 농도 diagram 입니다.

출처 : 고체전자공학6판(Ben streetman)

그리고 오늘은 수식이 조금 많은데 글로 설명을 하자니 정말 어렵네요^^..;;

이전 포스팅에서 진성반도체에서 no=po=ni 라고 했던걸 기억하시나요?

이를 통해 ni^2 = nopo 라는 공식을 유도할 수 있고 이는 외인성반도체에서도 적용이 됩니다.

$그리고\ 진성\ 전자\ 및\ 정공\ 농도는\ \combi{n}_i=\combi{N}_c\combi{e}^{-\frac{\left(\combi{E}_c-\combi{E}_i\right)}{kT}}\ ,\ \ \combi{p}_i=\combi{N}_v\combi{e}^{-\frac{\left(\combi{E}_i-\combi{E}_v\right)}{kT}}$      ni=Nce(EcEi)kT ,  pi=Nve(EiEv)kT

$그리고\ ni\ =\ pi\ 이기\ 때문에\ \ \ \combi{n}_i\ =\ \sqrt{\combi{N}_c\combi{N}_v}\exp \left(-\frac{\combi{E}_g}{2kT}\right)\ \ 로\ 구할\ 수\ 있습니다.$ ni = pi     ni = NcNvexp(Eg2kT)     .

마지막으로 위의 ni , pi 식과 no , po 식을 연립하여 정리하면

$\combi{n}_o=\combi{n}_i\combi{e}^{\frac{\left(\combi{E}_r-\combi{E}_i\right)}{kT}}\ \ ,\ \ \combi{p}_o=\combi{n}_i\combi{e}^{\frac{\left(\combi{E}_i-\combi{E}_F\right)}{kT}}\ \ 로\ 정리됩니다\ \ $no=nie(ErEi)kT  ,  po=nie(EiEF)kT     

왜 이렇게 비슷한 식들을 많이 정리하느냐? 하실수도 있을 것 같습니다.

이는 페르미-디락 분포로 에너지밴드갭 차이를 구할 수 있고 에너지밴드갭을 구하면 조건에 따라

ni 또는 Nc 만을 안다면 우리가 알고 싶은 전자와 정공 즉, 캐리어의 농도에 대해 구할 수 있는 것 입니다.

처음에보면 굉장히 헷갈리고 어렵겠지만 수차례 연습하고 생각한다면 금방 익히실거라 생각됩니다

마지막으로 온도에 따른 캐리어농도에 대해 알아보겠습니다

엉성한 풀이인데 이해부탁드립니다..ㅎ

마지막 줄을 보시면 ni 식을 일차함수꼴로 치환을 했죠? 이걸 diagram으로 그리면

출처 : 고체전자공학6판(Ben streetman)

이와 같이 나타낼 수 있습니다. 이게 왜 중요할까요?

일반적으로 우리는 300k 에 대해선 여러물질의 ni 값을 알고 있지만 그외의 온도에 대해서는 잘 모르는데요. 이 diagram을 통해서 아주 정확하진 않지만 각 온도에 따른 ni 값을 거의 비슷하게 유추할 수 있고 또한 식과 diagram 비교를 통해 우리는 기울기가 클수록 에너지밴드갭이 크다는 사실 또한 알 수 있습니다.

출처 : 고체전자공학6판(Ben streetman)

꽤나 유명한 diagram이죠?

온도에 따른 캐리어농도와 반도체의 거동에 대해 알 수 있는 diagram 입니다.

앞에서 언급했듯이 온도가 너무 높으면 아무리 도핑이 되어 있어도 진성반도체로 거동한다는것을

알 수 있습니다.

*space charge neutrality

추가로 한가지 개념을 간단하게 언급하자면 도핑을 3족 5족을 동시에 하는 경우가 있습니다. 이럴경우엔

도핑된 양이 캐리어농도라고 볼 수 없는데요. 이유는 3족과 5족에서 나오는 자유전자와 정공이 서로 상쇄되기 때문이죠. 이럴때 쓰는 공식이 있습니다.

'반도체' 카테고리의 다른 글

반도체_이온 주입(도핑)  (0) 2020.10.17
반도체_ Oxide 공정(MOSFET)  (0) 2020.10.17
반도체_진성 반도체 및 외인성 반도체  (0) 2020.10.15
반도체_에너지밴드 형성  (0) 2020.10.15
반도체_밴드 갭이란?  (0) 2020.10.14